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5月27日，呼和浩特市生態環境局受理了中船派瑞特種氣體（呼和浩特）有限公司高純電子氣體項目（一期）環境影響評價文件并予以公示。該項目具體情況如下：
項目名稱：中船派瑞特種氣體（呼和浩特）有限公司高純電子氣體項目（一期）；
建設性質：新建；
建設單位：中船派瑞特種氣體（呼和浩特）有限公司；
建設地點：內蒙古呼和浩特市托克托工業園區；
項目投資：136300萬元，其中環保投資6339.7萬元；
建設內容及規模：建設年產高純三氟化氮7500噸的生產裝置，年產超純氨10000噸和液氮75000噸的生產裝置。同時配套建設循環水站、純水軟水制備站、空壓站、冷凍站、污水處理站等公輔工程。
產品方案：
中船派瑞特種氣體（呼和浩特）有限公司是中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司的全資子公司，主要產品為三氟化氮NF3、氨氣NH3、液氮、三氟甲磺酸等。
三氟化氮（NF3）屬于大規模集成電路的關鍵性輔助氣體之一，可以用作氟化氫激光器的氧化劑，半導體、液晶和薄膜太陽能電池生產過程中的蝕刻劑。隨著因特網、手機的迅速普及，使得芯片的使用率提高，無疑對生產芯片用的刻蝕劑、清洗劑提出了巨大需求，使得三氟化氮的使用量比重越來越大。
