在浙江芯科半導體的萬級潔凈車間內,精密儀器持續嗡鳴,光刻機精準作業。每一片第三代SiC功率芯片的誕生,都離不開一個無形的守護者——高度穩定的溫濕度環境與極致潔凈的空氣。
溫度波動超過±0.5℃,濕度失控數個百分點,都可能導致上百萬的晶圓報廢。這是中國半導體獨角獸芯科面臨的日常高壓挑戰,也是其發展路上必須跨越的能耗大山!
半導體制造是名副其實的“環境敏感型”產業。芯科半導體這類IDM企業,廠房規模宏大、設備投資高昂,對生產環境的控制近乎苛刻:
溫度與濕度精密控制:納米級制造工藝要求全年恒溫恒濕,波動范圍極小。
空氣潔凈度保障:極微小的塵埃都可能毀掉整片晶圓,高效過濾與氣流組織至關重要。
不間斷可靠運行:生產線全年無休,空調系統必須絕對穩定,停機即是重大生產事故。
巨大能耗壓力:龐大的空間與嚴苛的溫濕度需求,使暖通空調成為廠區“電老虎”,降耗迫在眉睫。
面對芯科半導體獨特的生產流程與空間布局,歐博空調沒有提供“通用答案”。項目團隊深入一線,精準測繪分析,最終交出一套高度匹配的定制化空調矩陣:
圖|機組現場照片
【四管制模塊式風冷熱泵機組】化身廠區冷熱源“心臟”,四管制設計實現制冷制熱獨立精準調控,輕松應對辦公區、研發區等不同區域的動態負荷需求,提升整體能效。
【模塊式風冷冷水(熱泵)機組】按需靈活組合,為潔凈車間循環提供穩定冷源,其模塊化特性大幅降低單點故障風險,保障生產連續性。
【ZKW系列組合式空調機組】作為潔凈室環境的“精密調校師”,集成高效過濾、深度除濕、精準溫控單元,確保核心生產區域空氣參數始終如一,潔凈度穩定達標。
【FP系列風機盤管】分布式部署于辦公及輔助空間,安靜高效,獨立溫控,實現舒適與節能的完美統一。
這套系統不僅是設備的組合,更是歐博在電子半導體領域深厚know-how的結晶。針對半導體廠房的靜電防控、微振隔離、電磁兼容等隱形需求,方案中植入了特殊設計:
氣流組織經優化,消除死角,保障潔凈度均勻穩定;
關鍵設備采用高效變頻與熱回收技術,能耗顯著低于傳統方案;
智能群控系統實現多機組高效協同,按需輸出,避免能源空耗。
“歐博的方案真正讀懂了我們的痛點,”芯科半導體項目負責人反饋,“運行一年多來,空調系統零意外停機,潔凈室參數始終完美達標。更驚喜的是,經實測對比,整體空調能耗較預期大幅度降低,一年節省電費達百萬量級。”
從一顆芯片的誕生,到一座“綠色工廠”的運轉,歐博空調憑借在電子半導體領域數十年的深耕,打造的覆蓋項目全生命周期的一體化解決方案(從前期規劃設計、設備定制,到中期集成實施、調試驗收,再到后期智慧總控與智能運維)已助力國內外數十家知名芯片制造企業破解環境控制與能耗困局。
在半導體這條“精密至上”的賽道上,穩定與節能是永不退潮的競爭力!歐博空調依托深厚技術積累,以高效節能的產品、高度定制化的系統解決方案和快速響應的服務網絡,正成為越來越多像芯科半導體這樣的行業領軍企業背后,不可或缺的“環境守護者”與“能耗破解專家”。