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7月18日，蚌埠市自然資源和規(guī)劃局公示了安徽匯氟新材料科技有限公司年產(chǎn)40噸三氟化氯和40噸氟氮混合氣項目。
公示顯示，該項目位于安徽省蚌埠市淮上經(jīng)濟開發(fā)區(qū)淝河北路北側(cè)，總投資1億人民幣，分二期建設。其中，一期建設年產(chǎn) 20 噸電子級三氟化氯和 40 噸電子級氟氮混合氣生產(chǎn)裝置（線）各 1 套，計劃 2024 年 2 月前投產(chǎn)；二期再建設年產(chǎn) 20 噸電子級三氟化氯（C1F3）生產(chǎn)裝置（線）1 套，計劃 2024 年 8 月前投產(chǎn)。
據(jù)了解，項目產(chǎn)品三氟化氯是迄今為止發(fā)現(xiàn)反應活性最強的化合物之一，主要用于半導體芯片領域化學氣相沉積后工序 CVD 反應室內(nèi)壁、爐管、部件的表面蝕刻清洗環(huán)節(jié)，也是制備高端含氟高能材料的關鍵基礎材料，其衍生出來的新型氟金屬基含能材料和氟氮氧基含能材料在某些特殊場景具有更大的拓展應用潛力。
